無塵潔凈室技術(shù)應用

　　無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的題目，跟著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的進步等，對有關(guān)規(guī)范、導則等提 出的推薦或參考值是否偏于守舊，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等題目已在實踐中得到解決，跟著FFU的精益求精，對是否采用 FFU回風系統(tǒng)也是個熱門：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。

　　無塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等詳細情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就產(chǎn)業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、職員數(shù)目及操縱流動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒開釋源，根據(jù)詳細情況而異，變化很大;

　　(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求平均、同等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及職員流動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。以下對這些題目的情況分別作歸納和分析。